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一种空气纳米间隙电极的制备方法

成果编号
28701
完成单位
盐城师范学院
完成时间
2017年
成熟程度
价格
面议
服务产业领域
电子信息 装备制造 新材料 其他
单位类别
其他高校、其他院所
关注
科技计划 成果形式
新技术、新工艺、其他
合作方式 参加活动
技术转让、技术开发、技术咨询、技术服务
2021年高校院所服务苏北五市产学研合作对接活动 首届江苏产学研合作对接大会
专利情况
正在申请 ,其中:发明专利 0
已授权专利,其中:发明专利 1

成果简介

综合介绍
发明公开了一种空气纳米间隙电极的制备方法。本发明的制备方法操作简单、可控性强、适合大规模的生产,能够在短时间制得大量纳米电极,并且具备大面积制备的能力。本发明涉及薄膜制备技术、纳米切割技术、掩板/去掩板技术以及刻蚀技术等。两条超高长径比纳米线由纳米尺度空气层分离构成空气纳米间隙电极,通过改变牺牲间隔层的厚度,可以精确控制间隙尺寸,打破了分子间隙在分子尺度构筑电极的限制。操作过程简单高效,短时间内可以制备大量结构与尺寸完全相同的电极,消除对每个电极都进行电镜表征所带来的时间消耗,并且电极的三维尺寸可以被精确的控制。通过对不同尺寸空气纳米间隙电极的电学测试,电流密度与电压成指数关系、与间隙宽度成线性关系,说明此电极的电荷传输机理是隧道效应。
创新要点
本方法精确控制电极的三维尺寸,打破了分子间隙在分子尺度构筑电极的限制,并且短时间内可以制备大量结构与尺寸完全相同的电极。
技术指标
其他说明

                                    

完成人信息

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