MEMS 耐高温压力传感器及技术
- 成果编号
- 27914
- 完成单位
- 西安交通大学
- 完成时间
- 2020年
- 成熟程度
- 小批量生产阶段
- 价格
- 面议
- 服务产业领域
- 装备制造
- 单位类别
- 985系统院所、211系统院所
| 科技计划 | 成果形式 |
|---|---|
| 新技术 | |
| 合作方式 | 参加活动 |
技术开发、技术咨询 |
|
| 专利情况 | |
未申请专利 |
| 综合介绍 |
|---|
该项目应用先进的MEMS 技术，研制完成了耐高温压力传感器设计、制造关键技术及系列产品开发。解决了一直困扰航空航天、石油化工、军工、能源电力等领域因高温、高频响、高过载、微型化、瞬时高温冲击等恶劣环境下的压力、力、加速度测量难题。该成果获得2006 年度国家技术发明二等奖、2005 年度教育部技术发明一等奖、2004 年度陕西省科技进步一等奖和2004 年度西安市科技进步一等奖四项奖励。相关技术已获得国家授权发明专利20 余项。 |
| 创新要点 |
项目团队在蒋庄德院士带领下经过近二十年研发已经完全掌握基于MEMS 传感器开发技术，该技术应用领域广泛，目前已经开发出10 余类专用传感器。团队拥有科研生产用房1100 平方米，各类MEMS 传感器封装测试设备总价值1500万元以上。团队以高温、高压压力传感器、高频、微型、力、加速度等特殊需求传感器及数据记录仪作为主要加工、生产方向，建设完成了专用的MEMS 微纳传感器及数据记录仪的生产和检验工艺线，建立了完善的传感器测试平台，通过了ISO9000 质量管理体系认证及GJB9001B-2009 国军标体系认证。 |
| 技术指标 |
工作温度：-40-200℃。 耐瞬时高温冲击:2000℃ 测量介质：与硅、不锈钢、玻璃兼容的各种液体或气体 量程：0～500KPa……150MPa 供电：1.5mA 或5mA 或9V 零位输出：≤±2mV 过载压力：≥200%FS 或最大250MPa 贮存温度：－40℃～125℃ 满量程输出：100mV±40mV 相对湿度：0%～85% 绝缘电阻：100MΩ(50VDC) |
| 其他说明 |
| 姓名 | 对接成功后可查看 | 所在部门 | 对接成功后可查看 |
|---|---|---|---|
| 职务 | 对接成功后可查看 | 职称 | 对接成功后可查看 |
| 手机 | 对接成功后可查看 | 对接成功后可查看 | |
| 电话 | 对接成功后可查看 | 传真 | 对接成功后可查看 |
| 邮编 | 对接成功后可查看 | 通讯地址 | 对接成功后可查看 |
| 姓名 | 对接成功后可查看 | 所在部门 | 对接成功后可查看 |
|---|---|---|---|
| 职务 | 对接成功后可查看 | 职称 | 对接成功后可查看 |
| 手机 | 对接成功后可查看 | 对接成功后可查看 | |
| 电话 | 对接成功后可查看 | 传真 | 对接成功后可查看 |
| 邮编 | 对接成功后可查看 | 通讯地址 | 对接成功后可查看 |
