高端国产半导体设备
- 成果编号
- 27758
- 完成单位
- 浙江中科院应用技术研究院
- 完成时间
- 2020年
- 成熟程度
- 其他
- 价格
- 面议
- 服务产业领域
- 装备制造
- 单位类别
- 中国科学院系统院所
| 科技计划 | 成果形式 |
|---|---|
| 新技术、新装备 | |
| 合作方式 | 参加活动 |
技术转让、技术咨询、技术服务 |
2021年高校院所走进镇江产学研合作对接活动 首届江苏产学研合作对接大会 |
| 专利情况 | |
未申请专利 |
| 综合介绍 |
|---|
接触式光刻机能适应2-4英寸多种基底的曝光；采用ULED灯珠，使用寿命长；高性能物镜确保微米分辨率和 高曝光均匀性；进口精密运动台系统实现精确对准；高清 全彩摄像机和高清显示屏，具备完美深焦及分辨率的无 限矫正透镜；先进的自动定位系统，使系统易于操作和使 用；滚珠型导轨，保证设备具有低摩擦、高精度的特点。 |
| 创新要点 |
| 技术指标 |
| 其他说明 |
| 姓名 | 对接成功后可查看 | 所在部门 | 对接成功后可查看 |
|---|---|---|---|
| 职务 | 对接成功后可查看 | 职称 | 对接成功后可查看 |
| 手机 | 对接成功后可查看 | 对接成功后可查看 | |
| 电话 | 对接成功后可查看 | 传真 | 对接成功后可查看 |
| 邮编 | 对接成功后可查看 | 通讯地址 | 对接成功后可查看 |
| 姓名 | 对接成功后可查看 | 所在部门 | 对接成功后可查看 |
|---|---|---|---|
| 职务 | 对接成功后可查看 | 职称 | 对接成功后可查看 |
| 手机 | 对接成功后可查看 | 对接成功后可查看 | |
| 电话 | 对接成功后可查看 | 传真 | 对接成功后可查看 |
| 邮编 | 对接成功后可查看 | 通讯地址 | 对接成功后可查看 |
