亚纳米激光工业检测与计量系统
- 成果编号
- 13225
- 完成单位
- 哈尔滨工程大学
- 完成时间
- 2014年
- 成熟程度
- 试生产阶段
- 价格
- 面议
- 服务产业领域
- 装备制造
- 单位类别
- 211系统院所
| 科技计划 | 成果形式 |
|---|---|
| 新技术 | |
| 合作方式 | 参加活动 |
技术转让、技术开发、技术咨询 |
|
| 专利情况 | |
正在申请 ,其中:发明专利 0 项 |
| 综合介绍 |
|---|
亚纳米激光工业检测与计量系统是利用偏振激光干涉测量原理，实现对微小位移和振动的高精度非接触式测量，系统的测量分辨率可达0.1nm，振幅测量重复精度3～5nm，还可用于长度、速度、加速度等物理参数的测量。 |
| 创新要点 |
该系统具有精度高、测量范围大、检测时间短、非接触式等优点，测量效率更高、不损伤测量表面、不易受被测对象表面状态影响。 |
| 技术指标 |
其主要技术指标如下： （1）分辨率：优于10pm（5～500Hz）； （2）动态范围：优于150dB（5～500Hz）； （3）频率范围：5～1000Hz（可扩展）； （4）测量维数：x-y二维； （5）系统预热：30分钟； （6）工作温度：10～40℃（工作时温度变化小于1℃）； （7）体积：700×700×1200（mm3），（可缩小Φ300×1200）； （8）其他：光学主体密封。 |
| 其他说明 |
应用范围 精密、超精密加工领域。 |
| 姓名 | 对接成功后可查看 | 所在部门 | 对接成功后可查看 |
|---|---|---|---|
| 职务 | 对接成功后可查看 | 职称 | 对接成功后可查看 |
| 手机 | 对接成功后可查看 | 对接成功后可查看 | |
| 电话 | 对接成功后可查看 | 传真 | 对接成功后可查看 |
| 邮编 | 对接成功后可查看 | 通讯地址 | 对接成功后可查看 |
| 姓名 | 对接成功后可查看 | 所在部门 | 对接成功后可查看 |
|---|---|---|---|
| 职务 | 对接成功后可查看 | 职称 | 对接成功后可查看 |
| 手机 | 对接成功后可查看 | 对接成功后可查看 | |
| 电话 | 对接成功后可查看 | 传真 | 对接成功后可查看 |
| 邮编 | 对接成功后可查看 | 通讯地址 | 对接成功后可查看 |
