真空阴极弧离子镀及DLC超硬薄膜制备技术
- 成果编号
- 02077
- 完成单位
- 中国科学院力学研究所
- 完成时间
- 2012年
- 成熟程度
- 试生产阶段
- 价格
- 面议
- 服务产业领域
- 新材料
- 单位类别
- 中国科学院系统院所
| 科技计划 | 成果形式 |
|---|---|
| 新技术、新工艺 | |
| 合作方式 | 参加活动 |
技术转让、技术开发 |
|
| 专利情况 | |
未申请专利 |
| 综合介绍 |
|---|
该项目引入高压脉冲辉光放电技术，将真空阴极弧和中频磁控溅射等多种镀膜技术相结合。 |
| 创新要点 |
类金刚石碳（DLC）膜是一种光滑致密、高硬度、高电阻率、高导热率、良好的红外透过性、高化学稳定性、低摩擦系数高耐磨性的新型超硬薄膜。 |
| 技术指标 |
可研究开发单层及多层功能膜，如硬质膜、金属膜、半导体膜、介质膜、碳膜、铁磁膜和磁性薄膜等新型薄膜材料。 |
| 其他说明 |
TiN、TiC、TiCN、TiAlN等硬质薄膜已经在工具、模具、装饰等行业得到日益广泛的应用。 |
| 姓名 | 对接成功后可查看 | 所在部门 | 对接成功后可查看 |
|---|---|---|---|
| 职务 | 对接成功后可查看 | 职称 | 对接成功后可查看 |
| 手机 | 对接成功后可查看 | 对接成功后可查看 | |
| 电话 | 对接成功后可查看 | 传真 | 对接成功后可查看 |
| 邮编 | 对接成功后可查看 | 通讯地址 | 对接成功后可查看 |
| 姓名 | 对接成功后可查看 | 所在部门 | 对接成功后可查看 |
|---|---|---|---|
| 职务 | 对接成功后可查看 | 职称 | 对接成功后可查看 |
| 手机 | 对接成功后可查看 | 对接成功后可查看 | |
| 电话 | 对接成功后可查看 | 传真 | 对接成功后可查看 |
| 邮编 | 对接成功后可查看 | 通讯地址 | 对接成功后可查看 |
| 序号 | 文件名称 |
|---|---|
| 1 | 科技成果登记表简介.doc |
