适用于制造MEMS器件的材料及其加工技术
- 成果编号
- 17125
- 完成单位
- 南京理工大学
- 完成时间
- 未填写
- 成熟程度
- 试生产阶段
- 价格
- 面议
- 服务产业领域
- 新材料
- 单位类别
- 211系统院所
科技计划 | 成果形式 |
---|---|
新材料 | |
合作方式 | 参加活动 |
技术转让、技术开发、技术入股 |
|
专利情况 | |
未申请专利 |
综合介绍 |
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综合介绍: 随着微电子和微机电(MEMS)等领域的发展,对微齿轮、微弹簧等MEMS器件需求越来越多,因而从材料特性到制备工艺对新材料都提出了越来越高的要求,已有的研究表明, 利用常规材料来成形微小零件时, 材料表现出一系列明显的尺寸效应,从材料性能到制备工艺都限制了MEMS器件与技术的发展与应用。研究开发了一种适用于制造MEMS器件要求的微小精密零件的新材料及其相关加工工艺技术,从材料性能到工艺性能与常规材料相比都具有明显的优势。 |
创新要点 |
技术指标 |
技术指标: 适用于MEMS器件制造的材料技术; MEMS器件制造工艺技术,样品尺寸可达微、纳米量级,表面精度可达原子尺度。 |
其他说明 |
姓名 | 对接成功后可查看 | 所在部门 | 对接成功后可查看 |
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职务 | 对接成功后可查看 | 职称 | 对接成功后可查看 |
手机 | 对接成功后可查看 | 对接成功后可查看 | |
电话 | 对接成功后可查看 | 传真 | 对接成功后可查看 |
邮编 | 对接成功后可查看 | 通讯地址 | 对接成功后可查看 |
姓名 | 对接成功后可查看 | 所在部门 | 对接成功后可查看 |
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职务 | 对接成功后可查看 | 职称 | 对接成功后可查看 |
手机 | 对接成功后可查看 | 对接成功后可查看 | |
电话 | 对接成功后可查看 | 传真 | 对接成功后可查看 |
邮编 | 对接成功后可查看 | 通讯地址 | 对接成功后可查看 |